廈門(mén)iGX100L半導(dǎo)體真空泵-廈門(mén)太星機(jī)電

廈門(mén)太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷(xiāo)售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國(guó)外及國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測(cè)量，真空泵油及其備品備件。

高真空油擴(kuò)散泵是一種蒸氣射流泵，其工作原理是把工作介質(zhì)(擴(kuò)散泵油)的動(dòng)能在抽氣方向上傳給被抽氣體來(lái)作為基礎(chǔ)的。擴(kuò)散泵的抽氣過(guò)程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口排除的過(guò)程。其工作極限真空度在10-2~10-5 Pa范圍內(nèi)。應(yīng)用在設(shè)備上的擴(kuò)散泵工作范圍在10-2~10-4 Pa范圍內(nèi)。

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通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?

1.極限真空

如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始?jí)毫φ檬菣C(jī)械泵的極限壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開(kāi)始工作。

2.大反壓強(qiáng)

大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)推算出來(lái)。

4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?

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擴(kuò)散泵在長(zhǎng)期工作后性能會(huì)逐漸變壞，應(yīng)定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用進(jìn)行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級(jí)噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。

待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機(jī)。

在重新開(kāi)機(jī)前，要注意檢漏工作。方法是：?jiǎn)?dòng)維護(hù)泵，關(guān)好大門(mén)，數(shù)分鐘后，觀察真空度，同時(shí)檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。