
廈門太星機(jī)電有限公司
經(jīng)營模式:商業(yè)服務(wù)
地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機(jī)組
業(yè)務(wù)熱線:0592-6800154
廈門太星機(jī)電服務(wù)維修-iGX600N干式真空泵維修
廈門真空泵維修,廈門真空泵,廈門螺桿真空泵
廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
高純氣體系統(tǒng)種類:
簡單供氣系統(tǒng)
簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單,通常不需要連續(xù)性供氣,對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。
廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對于高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。
廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)
為了排除凝結(jié)水,蒸汽和其他含水的氣體管道應(yīng)有一定的坡度,一般不小于千分之二。對于利用重力流動的地下排水管道,坡度不小于千分之五