
廈門太星機(jī)電有限公司
經(jīng)營模式:商業(yè)服務(wù)
地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號(hào)之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機(jī)組
業(yè)務(wù)熱線:0592-6800154
iGX100M半導(dǎo)體真空泵維修-廈門太星機(jī)電供應(yīng)服務(wù)
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廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
集中供氣系統(tǒng)采用二級(jí)減壓保證壓力的穩(wěn)定,采用二級(jí)減壓的方式,一是,經(jīng)過一級(jí)減壓后,干路壓力比氣瓶壓力大大降低,起到了緩沖管道壓力的作用,提高了用氣的安全,降低了應(yīng)用的風(fēng)險(xiǎn),二是保證儀器供氣入口壓力的穩(wěn)定,降低了因?yàn)闅怏w壓力波動(dòng)而引起的測(cè)量誤差,保證了儀器使用的穩(wěn)定性。
廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。。
高純氣體分類:
高純氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為:惰性氣體、氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。
高純氣體系統(tǒng)及輸送流程:
高純氣體輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。
其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)
氣體儲(chǔ)運(yùn)要求
保證氣體在存儲(chǔ)、運(yùn)輸、使用過程中不會(huì)被二次污染,對(duì)氣瓶?jī)?nèi)部、內(nèi)壁表面的處理涉及多項(xiàng)工藝,均依賴于長期的行業(yè)探索和研發(fā);此外,對(duì)于某些具有高毒性或危險(xiǎn)性的氣體,需要使用負(fù)壓氣瓶?jī)?chǔ)運(yùn),以減少危險(xiǎn)氣體泄露風(fēng)險(xiǎn)。
廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。