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真空度1400L/s ~ 3000L/s抽速CXF-200/1401無油磁懸浮分子泵

簡短描述：
電磁軸承也稱為“主動(dòng)磁懸浮熊”，由磁浮軸承、傳感器和控制系統(tǒng)組成。這種設(shè)計(jì)具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)和及時(shí)調(diào)整，軸系高速且運(yùn)行可靠。
磁懸浮分子泵是借助磁力支撐軸系的泵。

系列磁懸浮分子泵是KYKY為滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造、芯片制造、工業(yè)電鍍和科學(xué)儀器等領(lǐng)域的應(yīng)用要求而開發(fā)的真空發(fā)生設(shè)備。

技術(shù)：
?磁浮軸承控制技術(shù)：采用的電磁是5軸磁懸浮。該設(shè)計(jì)采用基于國際控制理論的動(dòng)態(tài)主動(dòng)閉路磁懸浮控制技術(shù)，具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)和及時(shí)調(diào)整，保證了高速軸系懸浮穩(wěn)定、運(yùn)行可靠的顯著優(yōu)勢。
?電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)：串聯(lián)磁懸浮泵采用高速直流電機(jī)和伺服控制系統(tǒng)，使電機(jī)具有能量并自動(dòng)補(bǔ)償軸系轉(zhuǎn)速，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)能穩(wěn)定啟動(dòng)、可靠運(yùn)行和動(dòng)能自動(dòng)調(diào)節(jié)功能。
?碳纖維復(fù)合轉(zhuǎn)子技術(shù)：串聯(lián)磁懸浮分子泵的渦輪轉(zhuǎn)子由高強(qiáng)度鋁合金和輕質(zhì)碳纖維復(fù)合而成。與所有鋁合金轉(zhuǎn)子相比，渦輪轉(zhuǎn)子具有重量減輕大、強(qiáng)度提高大的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了高轉(zhuǎn)速、高性能、高可靠性的目標(biāo)。
?耐腐蝕技術(shù)：串聯(lián)磁懸浮分子泵腔室中的零件表面經(jīng)過特殊工藝處理，使表面能夠長期抵抗半導(dǎo)體制造過程中腐蝕性氣體引起的腐蝕。此外，在泵的軸上完全填充N2等惰性氣體，以保護(hù)泵中的低真空部件，從而實(shí)現(xiàn)長時(shí)間穩(wěn)定排出腐蝕性氣體的功能。
?加熱溫度控制系統(tǒng)：系列磁懸浮分子泵配有電加熱器和溫度控制器，使冷卻水、氣骨加熱、電加熱和保護(hù)氣體攜帶的熱量在運(yùn)行過程中得到監(jiān)測和控制，泵內(nèi)溫度可長期保持在一定值，部分氣態(tài)物質(zhì)常溫下不轉(zhuǎn)化為固體物質(zhì)，不沉積在泵內(nèi)，并且可以滿足蝕刻等特殊工藝的要求。