CXF-320/3001型磁懸浮分子泵
簡短描述:
電磁軸承又稱“有源磁懸浮軸承”，由磁軸承、傳感器和控制系統(tǒng)組成。本設(shè)計具有動態(tài)響應(yīng)及時調(diào)整，軸系高速運轉(zhuǎn)可靠等特點。
磁懸浮分子泵是依靠磁力支撐軸系的泵。
系列磁懸浮分子泵是KYKY公司為滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造、芯片制造、工業(yè)電鍍、科學(xué)儀器等領(lǐng)域的應(yīng)用需求而開發(fā)的真空產(chǎn)生設(shè)備。
優(yōu)點:
1. 運行時零摩擦，功耗低
2. 易于獲得真正清潔的高真空和超高真空，無需潤滑泵
3.能長期抽吸腐蝕性氣體
4. 由于精密陶瓷球保護(hù)軸承，安全性高，使用壽命長
5. 具有突然斷電時的發(fā)電功能
6. 無摩擦
7. 無污染
8. 免維護(hù)
9. 低振動
10. 安裝在renhe方向。
應(yīng)用程序:
系列磁懸浮分子泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、夾片制造、工業(yè)電鍍、科學(xué)儀器等領(lǐng)域，特別適用于萃取蝕刻、CVD、PVD、離子注入等腐蝕性氣體及常溫下易凝固氣體。
上一條：沒有了
